90nm。

日前上海昆山一家名同兴达公司有两台国产光刻机进驻,为上海微电子生产的光刻机。

昆山同兴达，该公司成立于2021年12月，主营半导体芯片先进封装测试相关之生产、销售及服务，是同兴达集团最年轻的子公司。